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【光刻机领域,中国再下一城】不黑不吹,新公布的光刻机是干式DUV光刻机,参数中规中矩,对应阿斯麦尔的ArF系列光刻机。8nm的套刻精度并不是指能生产8nm工艺,这种光刻机一般只能用于制造65nm工艺的芯片,理论上通过多次曝光可以用于制造32/40nm的工艺(只不过当年没有人这样做,而是直接进入了浸润光刻时代)。 如果该光刻机的供应链可控,那么我国工业用芯片基本就不再害怕任何制裁了,而且DUV光刻机的原理一旦掌握,浸润式DUV也就指日可待了……同时,芯片制造的其他配套设备已经全部达到或优于28n
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